工业用奥林巴斯光学显微镜SZ61在芯片制造过程中，可用于检测芯片表面的光刻图案是否完整、精确，有无缺陷、杂质等，确保芯片的性能和质量。

工业用奥林巴斯光学显微镜SZ61光源系统及特点

LED 照明底座（SZ2-ILST）：这是第一款 LED 照明底座，采用薄型设计，能使样品保持较低位置，操作更方便。可同时实现透射光和反射光照明，并且 LED 灯在任何亮度下都能提供长时间稳定色温的照明，为观察提供稳定且均匀的光线。

明视野 / 暗视野透射光照明灯（SZX-ILLD2）：该底座可以提供明亮、高对比度的明视野和暗视野照明。在明视野下，被照亮的视野范围可高达 63mm，暗视野下可达 33mm，适用于观察不同类型的工业样品，如表面有微小凹凸或需要突出边缘的零件。

高水平透射光照明灯（SZX-ILLB2）：能提供明亮有效的照明，对比度可连续调节，还具备可调节的细长狭缝，可增加各种样品的对比度，也可通过内置滤色片滑板调节亮度和色温，满足对不同反射率或透明度样品的观察需求。

工业用奥林巴斯光学显微镜SZ61可选配件及作用

多种辅助物镜：可确保在最佳的工作距离上完成各种观察任务。比如 0.3x 物镜对应的工作距离在 250mm-350mm 之间，0.4x 物镜的工作距离在 180mm-250mm 之间，方便观察不同尺寸和类型的工业样品。

不同目镜：目镜种类在 10x-30x 之间，可实现最佳的系统放大，用户可根据具体观察需求和样品特征选择合适的目镜，以获得理想的放大效果和清晰图像。

三目观察筒（SZ61TR）：便于连接数码相机和摄像机，方便进行数码成像和记录，能将观察到的工业样品微观结构等情况快速准确地记录下来，便于分析和存档。

多种光导管：包括柔性光导管（SZ2-LGSF）、连锁式光导管（SZ2-LGDI）、环形光导管（SZ2-LGR）等。柔性光导管固定在物镜后部，避免干扰显微镜操作；连锁式光导管是标准的倾斜式半柔性光纤导管，光源固定在底座后部，节约桌面空间；环形光导管与 LGB 照明系统配合使用，能提供明亮、一致的图像。

同轴反射光照明灯（SZ2-ILLC）：结合了起偏器和 1/4λ 片，对于在倾斜式反射光照明下难以观察的工业样品，如具有特殊光学性质或表面反光特性的材料，有很好的观察效果。